光學(xué)系統(tǒng)干涉儀是采用干涉技術(shù)進(jìn)行波前測量的*，其采用瞬時相移干涉技術(shù)的動態(tài)干涉儀，可以應(yīng)用于光學(xué)系統(tǒng)現(xiàn)場檢驗、復(fù)雜/惡劣環(huán)境的光學(xué)檢驗，光學(xué)系統(tǒng)干涉儀已經(jīng)在世界范圍內(nèi)的激光、空間光學(xué)、天文光學(xué)、軍用光學(xué)等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。其動態(tài)光學(xué)輪廓儀解決了大尺寸組件粗糙度測量的難題。

　　光學(xué)系統(tǒng)干涉儀性能：

　　光學(xué)系統(tǒng)干涉儀、補償系統(tǒng)、環(huán)境傳感器全部集成在一個堅固的輕便外殼內(nèi)。如果您在現(xiàn)場實際使用過傳統(tǒng)的干涉儀系統(tǒng)測量補償機床設(shè)備，您就會明白將一切系統(tǒng)集成在一個小型輕便外殼內(nèi)光學(xué)系統(tǒng)干涉的意義。您需要的僅僅這臺小型的堅固儀器和電源線。所有的其余傳感器與系統(tǒng)都是無線連接的。

　　開放結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)遙控：

　　光學(xué)系統(tǒng)干涉儀擁有20針擴展接頭，可以進(jìn)行編程，光學(xué)系統(tǒng)干涉儀可以被集成進(jìn)外部流程。我們可以定義數(shù)字或模擬的I/O。使用AquadB輸入，我們可以實現(xiàn)時間同步測量。

　　高速度高性能：

　　直線度測量精度可達(dá)0.1μm，這是非常的性能，光學(xué)系統(tǒng)干涉儀甚至可以在6m/s的測量速度下達(dá)到以上精度等級。我們甚至擁有在30 m/s速度下測量的特殊版本。

　　測量軟件支持典型功能應(yīng)用：

　　測量軟件是整個測量系統(tǒng)的一部分，光學(xué)系統(tǒng)干涉不再另外收費。