主動隔振光學平臺使產(chǎn)品具有更低的共振頻率應用于掃描探針顯微鏡，共聚焦激光顯微鏡，干涉儀系統(tǒng)，三維形狀測量機，激光位移測量系統(tǒng)，除振系統(tǒng)是在精巧的形狀中加入垂直與水平用的氣壓驅動器而構成的組裝型除振裝置。

　　平臺能發(fā)揮出除振性能、制振性能等，緊湊的機身集成了自由度的主動除振機構，可提供以往的被動型無法實現(xiàn)的振動環(huán)境，這款機器可以發(fā)揮技術領域所要求的高精度及高分解能，小巧輕便的桌面型主動隔振臺，負載能力強大，隔振效果突出。

　　主動隔振支撐部分主要包括了被動隔振機構和主動隔振器，每個支撐里面一般會有4個主動隔振器和一臺主控箱，主動隔振器包含了采集信號的傳感器和消除振動的驅動器，通過原理驗證試驗證明了改變節(jié)流孔徑的大小可以有效地抑制共振放大，但同時發(fā)現(xiàn)在高頻段的振動隔離能力受到了一定的影響。高頻振動隔離能力的削弱主要來自彈簧和附加氣室的整體連接，導致高頻振動所產(chǎn)生的微弱壓力差生成的微小氣體量在附加氣室間來回流動，導致產(chǎn)生阻尼，影響了高頻隔振能力。

　　主動隔振光學平臺是一種隔除振動的工作平面，它利用自身的固有頻率能有效避開環(huán)境振動所產(chǎn)生的共振現(xiàn)象，控制振幅放大，減少振動傳遞率，消除環(huán)境振動對使用精度的影響，廣泛應用于光學測試、激光掃描、激光干涉和光學制造等科研和教學領域中，適用于全息技術、光譜實驗技術、精密檢測技術、現(xiàn)代光學、激光技術、集成電子學、生物及光纖等工程領域。